简介： 本实用新型提供一种外加式流量量测装置、混合设备及清洗机，所述外加式流量量测装置包括量测桶，以及第一阀组和第二三通分流阀；所述混合设备包括一个混液槽、至少两个输送泵，以及与输送泵的入口、出口连通的上述外加式流量量测装置。还提供一种清洗机，包括至少一个主机台，以及上述的混合设备，所述混合设备将混合液输送至主机台的生产腔室内。通过设置多组三通阀和开关阀将输送泵中的出液量导入量测桶中，能够避免化学品输送拆管量测接触到化学品，提高人员安全、降低成本和提高品质良率；因增加水路在输送泵前，在更换输送泵时可以对输送泵进行清洗，提高更换人员安全。