简介： 本发明针对现有的热丝化学气相沉积(热丝CVD)法金刚石膜沉积系统中衬底温度测量不便或无法动态测量的问题,发明一种能实时连续测量衬底表面温度分布的CVD系统衬底的无电刷测温方法及装置,其关键是将回转式衬底工作台改变为摆动式工作台,既保证衬底表面的温度均匀性,又使得热电偶测温变得十分方便,改变传统的热电偶加电刷的结构,可对衬底表面温度进行实时监控。