简介： 本发明涉及一种高性能的紫外光探测器的制备 方法，属于无机非金属材料器件制造工艺技术领域。本发明方 法采用传统的、现有的热丝化学气相淀积装置，在硅片衬底上 (100)晶面上淀积金刚石薄膜，再在此金刚石薄膜层上蒸镀一定 厚度的金电极，并经光刻工艺形成指宽和间距均为25微米的 叉指状梳状电极，并用镁铝丝引线引出，最终制成金刚石膜紫 外光探测器。此金刚石膜紫外光探测器能达到的性能指标为： 暗电流＜1nA/cm2，响应时间接 近10－10秒，其综合性能优于其 他紫外光探测器。