简介： 本发明涉及一种核探测器碲锌镉晶片表面钝化 的方法，具体的说就是核探测器碲锌镉晶片制造过程中最后一 道工序钝化工艺的改进方法，属半导体探测材料制造技术领 域。本发明方法是先按传统工艺将碲锌镉晶片进行抛光、表面 腐蚀、沉积金电极和表面钝化，包括有四个工艺程序，其特征 为，在最后的表面钝化程序中采用两步法，两步法的钝化工艺 如下：先用KOH－KCl溶液进行表面处理，获得接近化学计量 比的碲锌镉晶片表面，然后再用 NH4F/H2O2混合溶液进行钝化生 成氧化层，这样既可获得化学计量比较好的碲锌镉晶片表面， 又可在该表面形成起保护作用的高阻氧化层，从而可改善碲锌 镉探测器的性能。