简介： 本发明是有关于一种监测刻蚀工艺的方法，其先以通气体步骤将不会与具有特定组成的化学液反应的气体以气体管路装置通入化学液中，并得到对应于化学液组成的第一平衡压力，再将待刻蚀的晶圆半成品放入化学液中进行刻蚀步骤，接着进行气体压力侦测步骤记录该气体在该晶圆半成品完成刻蚀步骤后的第二平衡压力，并配合计算步骤计算气体平衡压力差而得知化学液经过刻蚀后的组成变化；本发明不需以另外的控片刻蚀、量测等工艺来监测化学液的刻蚀能力，且可即时又简易地由气体平衡压力的变化来监测化学液的组成成分，进而缩短整体工艺时间、降低生产成本。