基于纳米压电材料的实时血压监测传感器
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基于纳米压电材料的实时血压监测传感器
来源:北方有色网
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简介: 本发明公开了一种基于纳米压电材料的实时血压监测传感器,制备步骤如下:1)利用化学气相沉积法,在硅衬底上定位横向生长氧化锌纳米线网结构;2)在纳米线网结构的两端制备电极和引线;3)利用甩胶法在纳米线网结构上涂覆一层硅胶作为保护层和振动传导层;4)将带有氧化锌纳米线网的硅胶从硅衬底上剥离下来。本发明将半导体压电材料氧化锌纳米线网作为器件的核心传感材料,其响应速度高,能耐较高温度,本发明通过利用横向生长纳米线网具有压电特性并能将压力实时地转化为电信号的特性,设计了一款2×2分布式压力信号传感器,本芯片可以安装在床垫中,实施监测夜晚睡眠状态,特别是对于老年人夜间身体健康实时检测具有重要的意义。
本发明公开了一种基于纳米压电材料的实时血压监测传感器,制备步骤如下:1)利用化学气相沉积法,在硅衬底上定位横向生长氧化纳米线网结构;2)在纳米线网结构的两端制备电极和引线;3)利用甩胶法在纳米线网结构上涂覆一层硅胶作为保护层和振动传导层;4)将带有氧化锌纳米线网的硅胶从硅衬底上剥离下来。本发明将半导体压电材料氧化锌纳米线网作为器件的核心传感材料,其响应速度高,能耐较高温度,本发明通过利用横向生长纳米线网具有压电特性并能将压力实时地转化为电信号的特性,设计了一款2×2分布式压力信号传感器,本芯片可以安装在床垫中,实施监测夜晚睡眠状态,特别是对于老年人夜间身体健康实时检测具有重要的意义。
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标签:化学分析
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