简介： 本发明提供一种用于晶圆测试的探针针尖的清洁液、清洁装置及方法，该清洁装置包括清洁槽，装载清洁液，清洁液包括以下组分：H3PO4、HNO3和H2O，其中，H3PO4的质量占清洁液的总质量的88‑93％，HNO3的质量占清洁液的总质量的3‑7％，H2O的质量占清洁液的总质量的1‑5％；加热装置，设置于所述清洁槽的下侧；温度计，设置于所述清洁槽内。本发明采用清洁液只消耗扎在探针针尖上的铝屑，而不会和探针的主要材料钨发生化学反应，减小了探针的磨耗率，延长了探针的寿命，降低了企业经济成本，提高了生产效益，本发明清洁探针针尖更彻底，增加产品一次检测良率，减少机台重测的时间，提高了工作效率。