简介： 本发明公开一种笔形海绵掉落探测装置，化学机械研磨设备中设有第二阶段清洁器，该第二阶段清洁器包含用于放置晶圆的平台，以及设置在平台一侧的机械臂，机械臂的端部设有固定器，笔形海绵设置在该固定器中；本探测装置包含：固定支架，其固定在机械臂的端部；传感器，其固定在固定支架的端部；传感器靠近笔形海绵设置，该笔形海绵与传感器之间的距离在传感器的探测范围内；传感器的输出端电路连接外接的主控制器。本发明设置光电接近传感器于笔形海绵侧边，可立即检测到笔形海绵的掉落情况，避免在生产过程中发生笔形海绵脱落而导致晶圆损坏报废的事故，有效的保护了第二阶段清洁器和晶圆，提高第二阶段清洁器的使用寿命和晶圆的良率。