金属细丝超薄金属镀层厚度测试方法
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金属细丝超薄金属镀层厚度测试方法
来源:北方有色网
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简介: 本发明公开了一种金属细丝超薄金属镀层厚度的测量方法,实现了直径小于20μm的金属细丝,金属镀层厚度小于0.2μm时镀层厚度的测量。首先取一定长度的样品,称量出总质量,采用化学检测的方法,将其完全溶解,利用电感耦合等离子体光谱仪测试出镀层金属的质量,样品总质量与镀层金属质量的差即为金属细丝的质量。然后根据金属细丝的质量,通过计算得到金属细丝的半径。最后利用扫描电子显微镜测试包含镀层的样品的直径,计算得出包含镀层样品的半径,该半径即为金属细丝的半径与镀层厚度的和,再减去金属细丝的半径即得金属镀层厚度。本发明的测试方法提高了超薄镀层厚度测试的准确度,具有很高的可操作性、重复性和再现性。
本发明公开了一种金属细丝超薄金属镀层厚度的测量方法,实现了直径小于20μm的金属细丝,金属镀层厚度小于0.2μm时镀层厚度的测量。首先取一定长度的样品,称量出总质量,采用化学检测的方法,将其完全溶解,利用电感耦合等离子体光谱仪测试出镀层金属的质量,样品总质量与镀层金属质量的差即为金属细丝的质量。然后根据金属细丝的质量,通过计算得到金属细丝的半径。最后利用扫描电子显微镜测试包含镀层的样品的直径,计算得出包含镀层样品的半径,该半径即为金属细丝的半径与镀层厚度的和,再减去金属细丝的半径即得金属镀层厚度。本发明的测试方法提高了超薄镀层厚度测试的准确度,具有很高的可操作性、重复性和再现性。
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标签:化学分析
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