简介： 本发明涉及一种在化学机械抛光过程中使用在线传感器测量抛光片的抛光设备和方法。由测量数据可识别出抛光片是否已经磨损坏了或是否不均匀磨损,并更换抛光片。按照即时的测量数据而不是按照统计预期方法来安排检修,可将检修的停机时间降到最低,并避免使用已经磨损坏了或是不均匀磨损的抛光片。新设计的抛光设备可延长抛光片使用寿命以及增加抛光效能。本发明的一个实施方案包括一个无触点式传感器,例如激光传感器。