简介： 本发明公开了一种对大气环境中的SF₆进行灵敏、快速在线监测的新方法及装置。本方法利用负离子模式离子迁移谱，分别通过直接进样和掺杂水汽的方式检测干燥环境和不同湿度环境中的SF₆。监测装置包括：漂气、质量流量计、空气过滤器、掺杂剂瓶、掺杂剂、离子迁移谱系统、放大器、真空泵等。本发明通过负离子模式离子迁移谱吸气采样，设计掺杂剂装置掺杂特定浓度的水汽的方式，引发化学反应，在排除大气环境中不同湿度对测量干扰的同时，通过监测SF₆的分子离子峰和与水汽反应后形成的新峰，提高离子迁移谱对SF₆测量的准确性和稳定性。本发明检测限可达0.1ppm。