简介： 本发明涉及一种太阳能电池晶圆片表面金属离子含量的测试方法，利用由1%的氢氟酸（HF）、4％的双氧水（H2O2）和95%的水（H2O）组成的提取试剂进行太阳能电池晶圆片表面金属离子的提取，配合Agilent公司Agilent7700s系列电感耦合等离子体质谱仪对太阳能电池晶圆片表面超微量金属含量进行检测，利用硅片的解理特性将太阳能电池晶圆片制成矩形，并完全浸泡在提取液中，保证了硅片表面金属离子收集的充分性，相对传统的手动VPD即化学气相分解进行太阳能电池晶圆片表面金属离子的前处理方法，利用完全浸泡的方式能获得更加稳定的回收率，提高测试精度，本发明能实现太阳能电池晶圆片全元素、超微量的检测，检出限均低于1×109atoms/cm2。