简介： 本发明属于光学零件缺陷层检测技术，具体涉及一种玻璃孔表面缺陷层深度测量方法。所述玻璃孔表面缺陷层深度测量方法包括具有孔结构的试件制备、孔表面的微量腐蚀、缺陷层的精密检测，所述具有孔结构的试件设置两块带有角度的楔形零件，所述孔表面微量腐蚀采用HF腐蚀，所述缺陷层的精密检测应用KEYENCE激光共聚焦显微镜在1500X下进行观测。本发明一种玻璃孔表面缺陷层深度测量方法应用金刚石钻头在玻璃中打孔通过光胶面时光胶面与孔口交接处无二次缺陷的原理，通过光胶面孔口的微量化学腐蚀将孔表面损伤层显现出来，然后通过KEYENCE激光共聚焦显微镜观测将损伤层深度测量出来。