简介： 本发明属于化学检测方法技术领域，具体涉及到采用等离子体质谱法对碳化硅中铝、镁等18种杂质元素含量进行测定的方法。包括以下步骤：(1)确定试样中杂质元素；(2)破碎筛选；(3)超声清洗；(4)冷却、过滤；(5)制备试样溶液；(6)配制工作标准溶液；(7)准备内标溶液；(8)在电感耦合等离子体质谱仪上依次测定工作标准溶液、空白溶液、试料溶液，测定时持续引入内标溶液，用标准曲线法测定各待测元素的含量。本发明成功建立了碳化硅中18种杂质元素含量的检测方法，利用发明内容中列举的实验条件可以精确测定碳化硅中杂质元素含量，解决了生产中急需的碳化硅中杂质含量测定工作，满足了碳化硅中杂质元素含量检测的需求。