气体感测器及其制作方法
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气体感测器及其制作方法
来源:北方有色网
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简介:
一种气体感测器及其制作方法,气体感测器包含一基板、一加热层、一绝缘层及多个排列的检测单元,该加热层设置于该基板上,该绝缘层设置于该加热层上,该检测单元设置于该绝缘层上,该检测单元包括一检测电极、一阻隔部以及一反应感测膜,该阻隔部包括多个向上延伸的阻隔壁,该阻隔壁围绕该检测电极而形成一容置空间,该反应感测膜设置于该阻隔部内的该容置空间并和该检测电极接触,当该反应感测膜和一待测气体接触时会进行一电化学反应,使该检测电极产生一对应该待测气体的识别信号。
一种气体感测器及其制作方法,气体感测器包含一基板、一加热层、一绝缘层及多个排列的检测单元,该加热层设置于该基板上,该绝缘层设置于该加热层上,该检测单元设置于该绝缘层上,该检测单元包括一检测电极、一阻隔部以及一反应感测膜,该阻隔部包括多个向上延伸的阻隔壁,该阻隔壁围绕该检测电极而形成一容置空间,该反应感测膜设置于该阻隔部内的该容置空间并和该检测电极接触,当该反应感测膜和一待测气体接触时会进行一
电化学
反应,使该检测电极产生一对应该待测气体的识别信号。
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标签:化学分析
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