简介： 本发明提供了芯片基板及其制作工艺、基因测序芯片及基因测序方法。所述芯片基板包括：基板；形成于所述基板上的阵列下板电极；图案化形成的绝缘层，所述绝缘层覆盖相邻两下板电极之间的间隙，并部分覆盖所述相邻两下板电极；形成于所述下板电极上及所述绝缘层之间的电容介电层；图案化形成的阵列上板电极及阵列测试点，所述上板电极部分覆盖所述电容介电层，所述测试点通过引线贯穿所述绝缘层的引线孔与所述下板电极连接；磁珠，所述磁珠设置于所述上板电极未覆盖所述电容介电层的区域并与所述电容介电层接触，用于接收含有DNA的样本。本发明提供的芯片基板将测序过程中的化学信号转变为电信号，无需对各种碱基进行如荧光探针等特殊标记，试剂成本低；芯片结构简单，工艺复杂程度较低，有利于基因测序在医学等领域的普及和推广。