简介： 本发明公开了一种基于LIF的氧原子绝对浓度时域/空域分辨的测试方法及装置，所述测试方法是利用高时域/空域分辨激光诱导荧光检测装置实现的，其包括如下步骤：一、基于双光子激光诱导荧光光谱的氧原子浓度表征；二、NO2化学滴定法对氧原子浓度进行定量标定。所述高时域/空域分辨激光诱导荧光检测装置包括激光诱导源子系统、高空间分辨光路子系统、荧光采集子系统和集成与同步控制子系统四部分。本发明通过检测基态氧原子的荧光光谱获得原子相对浓度，结合NO2化学滴定可实现氧原子浓度的定量化测量，配合测试装置中的高空间分辨光路系统和荧光采集系统，实现氧等离子体环境中氧原子绝对浓度的时域/空域高分辨精确测量。