碲锌镉探测器与碲锌镉探测器的栅极钝化方法
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碲锌镉探测器与碲锌镉探测器的栅极钝化方法
来源:北方有色网
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简介: 本发明提供一种碲锌镉探测器与碲锌镉探测器的栅极钝化方法,所述碲锌镉探测器的栅极钝化方法包括:对制备有阳极的碲锌镉晶片的上表面进行光刻处理,在阳极的表面覆盖第一厚度的光刻胶层,将栅极露出;对碲锌镉晶片的上表面进行化学抛光处理,去除栅极的表面的富碲层,基于化学抛光的反应产物在栅极的表面形成高阻钝化层,并使得阳极的表面保留第二厚度的光刻胶层;其中,第一厚度大于或等于第二厚度,第二厚度大于零。本发明处理工艺简单,能够在保护阳极的前提下实现对栅极的钝化处理,可有效降低碲锌镉探测器的漏电流,实现在较高的偏压下对碲锌镉探测器进行能谱测试,确保碲锌镉探测器达到较高的能谱分辨率。
本发明提供一种碲镉探测器与碲锌镉探测器的栅极钝化方法,所述碲锌镉探测器的栅极钝化方法包括:对制备有阳极的碲锌镉晶片的上表面进行光刻处理,在阳极的表面覆盖第一厚度的光刻胶层,将栅极露出;对碲锌镉晶片的上表面进行化学抛光处理,去除栅极的表面的富碲层,基于化学抛光的反应产物在栅极的表面形成高阻钝化层,并使得阳极的表面保留第二厚度的光刻胶层;其中,第一厚度大于或等于第二厚度,第二厚度大于零。本发明处理工艺简单,能够在保护阳极的前提下实现对栅极的钝化处理,可有效降低碲锌镉探测器的漏电流,实现在较高的偏压下对碲锌镉探测器进行能谱测试,确保碲锌镉探测器达到较高的能谱分辨率。
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标签:化学分析
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