简介： 本发明涉及一种深孔镀铜加速剂的测量方法，包括如下步骤：步骤（1）选择金属电极作为工作电极，惰性金属片为对电极，饱和甘汞电极为参比电极，组成三电极体系，选择铜电镀液；步骤（2）测量不含加速剂的基础镀液的阴极极化曲线；步骤（3）在上述基础镀液中加入不同浓度的加速剂，分别测量对应的阴极极化曲线；步骤（4）比较（2）和（3）的阴极极化曲线，分析所述曲线上的相关参数，获得相关电化学参数与加速剂浓度的定量关系曲线；步骤（5）采用同样电极体系测量实际待测定铜镀液，得结果。本发明采用了阴极极化曲线作为测定对象，更贴近实际电镀过程，从而对铜电镀液管理及过程质量控制产生指导作用，促进TSV电镀铜工艺的工业化应用。