用于CO2-NOx气体监测的薄膜型传感器
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用于CO2-NOx气体监测的薄膜型传感器
来源:北方有色网
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简介: 本发明属于电化学领域,特别适用于大气监测、 汽车尾气监控及其他科学研究。特征在于传感器由部分稳定的 氧化锆等氧离子导体和钠矽慷(NASICON)或钠beta氧化铝双 固体电解质构成,无参比电极;辅助电极由Ba(NO3)2等硝酸盐及Na2CO3等碳酸盐构成,氧化锆薄膜采用射频溅射技术制作,碳酸盐、硝酸盐采用厚膜技术制作,铂电极可用溅射等薄膜技术制作。整个传感器的直径仅0.8~1.2cm,厚0.3~0.5cm,可同时测试大气中的CO2及NOx含量;信号以毫伏(mV)输出,易于和自控设备连接;应答时间:20-30秒;使用温度:350-450℃;不受氧或氮等气体干扰,可直接放置于大气中;测试范围:1-150ppm NOx;0.01-0.5%CO2。本发明优点在于该传感器体积小,结构简单,成本低,而且可对CO2-NOx两种气体实现同时测量。
本发明属于电化学领域,特别适用于大气监测、 汽车尾气监控及其他科学研究。特征在于传感器由部分稳定的 氧化锆等氧离子导体和钠矽慷(NASICON)或钠beta氧化双 固体电解质构成,无参比电极;辅助电极由Ba(NO3)2等硝酸盐及Na2CO3等碳酸盐构成,氧化锆薄膜采用射频溅射技术制作,碳酸盐、硝酸盐采用厚膜技术制作,铂电极可用溅射等薄膜技术制作。整个传感器的直径仅0.8~1.2cm,厚0.3~0.5cm,可同时测试大气中的CO2及NOx含量;信号以毫伏(mV)输出,易于和自控设备连接;应答时间:20-30秒;使用温度:350-450℃;不受氧或氮等气体干扰,可直接放置于大气中;测试范围:1-150ppm NOx;0.01-0.5%CO2。本发明优点在于该传感器体积小,结构简单,成本低,而且可对CO2-NOx两种气体实现同时测量。
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标签:化学分析
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