简介： 提供了一种定量监测在化学工艺中气相材料的方法，其包括提供含一种或多种所关注的反应物气体的气体进料物流；使气体进料物流暴露于拉曼光谱装置的相干辐射；获得在气体进料物流内的每种气体组分的拉曼光谱信号；分析该光谱信号以确定每种气体组分的存在和浓度；和显示分析的结果。在一个实施方案中，该方法用于定量监测在生产高纯度硅工艺中的气相材料。