简介： 本发明是关于一种物理混合物中组分体积掺量的定量测定方法，其包括：将待测混合物制备成符合要求的样品；用电子探针对样品进行背散射电子成像，根据颗粒图像的对比度，对样品的颗粒进行分类，对各类颗粒进行化学成分分析，得到各类颗粒的化学成分和含量；根据化学成分和含量，对各类颗粒进行分组，确定样品的组分及各组分对应的特征化学成分和化学成分含量范围及对应的毛强度范围；再用电子探针对样品进行面扫描，对扫描点进行甄别，确定各组分的有效点；计算各组分的有效点占总有效点的占比，得到对应组分的体积掺量。本发明还提出了实现该方法的装置及系统。本发明使物理混合物中组分体积掺量的测定简单、省时省力、准确性高。