简介:
本发明涉及样本提取部及包括其的残留溶剂测量装置,本发明的残留溶剂测量装置包括:样本提取部,在基板上移动并以液相提取在上述基板上固化的样本;以及成分分析部,用于分析所提取的上述样本的成分,上述样本提取部包括:涂敷单元,在上述基板上涂敷用于对在基板上固化的样本进行溶解的化学液体;以及回收单元,用于在上述基板上回收溶解有上述样本的化学液体。
本发明涉及样本提取部及包括其的残留溶剂测量装置,本发明的残留溶剂测量装置包括:样本提取部,在基板上移动并以液相提取在上述基板上固化的样本;以及成分分析部,用于分析所提取的上述样本的成分,上述样本提取部包括:涂敷单元,在上述基板上涂敷用于对在基板上固化的样本进行溶解的化学液体;以及回收单元,用于在上述基板上回收溶解有上述样本的化学液体。