简介： 本发明公开一种硼磷硅玻璃(BPSG)中硼(B)、磷(P)含量测量的校正方法,以对诸如X射线荧光仪(XRF)等BPSG的B、P含量测定仪器进行校正。主要利用湿化学方法测定BPSG中的B、P含量,并与XRF测定的结果进行对比,求出差异数值,通过差异数值调节XRF的准确性,具体步骤包括:用XRF测量BPSG薄膜的硼、磷浓度;将所述BPSG薄膜溶解于蚀刻液,用元素定量分析设备测定其硼、磷浓度;以及利用XRF和元素定量分析设备分别测定的硼、磷浓度形成一用于校正所述XRF的浓度校正曲线。然后利用该浓度校正曲线来校正XRF,或者根据该浓度校正曲线制作XRF标准片来校正XRF。