简介： 本发明提供一具整合微流道的声波感测装置及其方法,是以一压电块材作为基板,以机电或化学加工方式做其感测区域成为压电薄板,再利用指叉状电极结构(INTER-DIGITAL TRANSDUCER,IDT)使其产生平板挠曲波。本发明更可进一步以同一制程或接合方式将微流道整合在同一具压电特性的基板上。本发明利用新的元件制程及设计,以制作出具有压电特性佳、温度补偿特性稳定及结构坚固的元件,将使得平板挠曲波可应用于液态感测器上。因此本发明能解决现有的声波感测装置的压电特性及薄膜结构不佳等问题。