简介： 本发明公开了一种ICP-MS在线取样装置,该装置包括:框架、设置在所述框架内的管路连接系统以及管路控制系统,所述管路连接系统连接待测试的化学系统与ICP-MS取样针,所述管路控制系统对所述管路连接系统进行控制。同时本发明还公开了一种金属杂质在线监测方法,该方法通过所述ICP-MS在线取样装置连接ICP-MS分析仪和待测试化学系统,实现对所述待测试化学系统的金属杂质的监测。由于该ICP-MS在线取样装置可直接连接待测试的化学品系统与ICP-MS分析仪,从而使测量结果不受取样环境、样品转换交叉污染和取样容器的影响,可以满足ppt级别的化学品的日常监测,并且可实现一台ICP-MS分析仪监测多种化学品系统中的金属杂质,从而节省了成本。