简介： 本发明公开了一种薄膜的水汽/气体渗透率测试方系统与方法，可用于各种透明/非透明薄膜和板材的检测，尤其涉及到有机电子器件的超高水汽/氧气阻挡率的柔性封装薄膜和基底的测试，这是一种建立在分子化学反应的计量方法。利用活泼金属探测层接触到，从待测样品透过的水汽/气体后，所产生反应及所引起的金属探测层电阻值的变化曲线，再通过定量分析电阻率与原子层厚度的变化和定标，可以计算得到样品的水汽/气体渗透率。