简介： 本实用新型提供一种温度传感器在线泄露的检查装置，所述温度传感器包括至少一端部裸露在设备之外的套管，所述检查装置包括至少一采样管道及一气体探测器，每一采样管道的一端密封连接至套管的裸露在外的端部，另一端通过一采样泵与所述气体探测器连接，所述温度传感器损坏而泄露的气体通过采样管道进入所述气体探测器，所述气体探测器检测到泄露气体并报警。本实用新型的优点在于：本实用新型检查装置能够及时有效的起到提示作用，让工作人员及时更换已坏的TC，增加其它TC使用寿命，同时降低隐患发生机率，TC的更换，能够使设备更好的监控硅片的温度，减少硅片的报废，提高产品的良率，且能够防止化学气体泄漏，保障工作人员人身安全。