简介： 本实用新型的特点在于提供一种应用光谱仪来量测电浆气体解离状态的量测装置。其原理主要藉由侦测管体内之气体解离状态，并藉由本装置计算出解离相对量值，俾于气体的主路径污染值过高时，由一第二路径适量释出被解离之反应气体，以排除该主路径之污染物，从而使清洁该主路径的作业更为快捷、确实。其中之主路径及结合于该主路径之第二路径供容置反应气体，而该主路径供业界在制造产品时，进行辅助沉积、薄膜蚀刻及改变材料表面等作业，以达到特殊的功能及效果。