简介:
本公开提供了一种隔离挡板的检漏连接头及检漏方法,属于金属有机化合物化学气相沉淀设备领域。所述检漏连接头包括:安装端子和接头端子,所述安装端子包括安装主体,所述安装主体上设有第一连接部以及用于套装在隔离挡板的冷却液管上的安装部,所述接头端子包括接头主体,所述接头主体上设有第二连接部,所述第一连接部与所述第二连接部可拆卸连接以使所述接头端子套装在所述冷却液管的管口上,所述接头主体上还设有用于将所述冷却液管的管口与检漏仪密封连通的接头部。本公开能够检测Shutter上是否存在漏点。
本公开提供了一种隔离挡板的检漏连接头及检漏方法,属于金属有机化合物化学气相沉淀设备领域。所述检漏连接头包括:安装端子和接头端子,所述安装端子包括安装主体,所述安装主体上设有第一连接部以及用于套装在隔离挡板的冷却液管上的安装部,所述接头端子包括接头主体,所述接头主体上设有第二连接部,所述第一连接部与所述第二连接部可拆卸连接以使所述接头端子套装在所述冷却液管的管口上,所述接头主体上还设有用于将所述冷却液管的管口与检漏仪密封连通的接头部。本公开能够检测Shutter上是否存在漏点。