简介： 本发明涉及一种用于多晶钨或单晶钨材料组织检验的试验样品制备、检验方法，包括一种用于多晶钨或单晶钨材料低倍和显微组织检验的表面抛光方法、一种用于多晶钨或单晶钨材料低倍和显微组织检验的表面选择性腐蚀方法、一种用于多晶钨或单晶钨材料的低倍组织检验方法、一种用于多晶钨或单晶钨材料的显微组织和精细结构检验方法。利用单晶钨或单晶钨材料表面不同晶面取向耐蚀性差异，在电化学抛光表面的基础上，通过进一步调整电压参数使材料表面发生选择性腐蚀，进一步使用扫描电子显微镜等微观分析方法对因选择性腐蚀显示的微观晶体取向有差异的显微组织和精细结构(大角晶界、小角晶界、亚晶界、晶面取向角)进行检验(观察和测量)。