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用于终点检测的抛光衬垫及相关方法

来源：北方有色网
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简介： 一种具有抛光层(22)的抛光衬垫,该抛光层有抛光面(24)和底面。抛光面上形成有多条沟槽(28b),且在抛光层的底面上形成有凹槽(52)。在抛光面上对应于底面中的凹槽的区域没有沟槽或有浅沟槽(28a)。

一种具有抛光层(22)的抛光衬垫,该抛光层有抛光面(24)和底面。抛光面上形成有多条沟槽(28b),且在抛光层的底面上形成有凹槽(52)。在抛光面上对应于底面中的凹槽的区域没有沟槽或有浅沟槽(28a)。

标签：化学分析

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