简介： 一种质量传感器(30),其中一个连接片(33)和一个膜片(31)在它们相应的侧面连接的一起;一个传感片( 32)在其相应的侧面沿与膜片(31)与连接片(33)连接方向垂直的方向相连;在传感片(32)的至少一个片表面上安装有由一个压电膜和一个电极构成的一个压电元件(35);由膜片(31)、传感片(32)、连接片(33)、和压电元件(35)组成的一个共振部分与一个传感器基体(34)相连。通过测量共振部分的共振频率随膜片(31)质量变化而产生的变化可以测量出膜片(31)质量的变化。本发明的质量传感器能够容易并且准确地测量毫微克量级的微小质量,包括微生物例如细菌和病毒、化学物质,以及蒸气沉积膜的厚度。