简介： 本发明公开一种在线检测抛光垫下方气泡的方法，包括：将一抛光垫粘贴在一化学机械抛光机台的一基座上；进行一抛光垫磨合制作工艺，利用一调节盘研磨所述抛光垫，其中所述调节盘耦合一垫高度感应装置；以及在所述抛光垫磨合制作工艺过程中，以所述垫高度感应装置监测所述调节盘的高度变化，其中当所述调节盘的高度变化超过一预定值，将所述抛光垫从所述基座上剥离，再另粘贴一抛光垫。