简介： 本实用新型公开了一种安装在干法刻蚀设备的反应腔壁，用于设备的终点检测系统接收光波信号，来检测反应腔中化学物质变化过程的终点检测窗口的透光片安装结构，通过取消现有的使用螺钉安装透光片的方式，在窗口主体凸出的上下边框内侧分别开设一条卡槽，并增加透光片的宽度与卡槽配合，将透光片从窗口一侧插入卡槽，即可便捷地将透光片与窗口主体安装固定，且便于取出，实现对透光片的一次安装成功，从而提高了机台保养的效率和一次成功率，并可有效避免原有的安装结构会因安装不当造成透光片发生碎裂的现象，节约了维护保养的费用。