简介： 一种检测基片转速装置,包括驱动组件,主动轮组件,从动轮组件,转速轮组件及转速测量传感器。主动轮组件和从动轮组件用于支撑基片及驱动基片旋转,转速测量传感器用于测量转速轮组件旋转速度。本实用新型通过比较驱动组件旋转速度与转速轮组件旋转速度,对基片旋转作出检测,同时对碾磨、化学机械抛光、清洗装置的工作状况进行监测,从而提高设备的生产效率和基片的成品率。