简介： 本实用新型公开了一种用于低温过氧化氢等离子灭菌器的检测装置，包括箱体、红外光谱仪、数据处理模块、温度传感器、湿度传感器、压力传感器、光源以及准直透镜组；本实用新型的检测装置结构简单，小巧，方便，实现了灭菌过程各项参数的实时数据监测；本实用新型中设计的过氧化氢浓度检测弥补了传统化学传感器不能用于低温过氧化氢等离子灭菌舱内气体浓度的检测，也使检测方法变得更加真实可靠。