简介： 本发明提供一种检测颗粒物质量浓度的装置及方法，涉及浓度检测技术领域，采用的技术方案是：一种检测颗粒物质量浓度的装置，包括待测气路、气流驱动装置和设置在待测气路上的光散射测量单元和流量计量单元及配套的控制处理器，还包括与光散射测量单元设置在同一待测气路上的微谐振测量单元，所述微谐振测量单元中包括设置在待测气路上的阻流滤膜和与阻流滤膜连接的频率检测器及控制电路，频率检测器的信号输出端与控制处理器连接。有益效果是：本装置及方法采用微谐振法与光散射测量方法结构进行融合计算，质量分辨率高，响应速度快，广泛适用于各种气路，克服了单纯光散射测量方法受颗粒的物理、化学及流动特性的影响，测量结果准确可靠。