简介： 本发明涉及一种纳米镀膜工艺的集成式在线检测方法，将各在线检测设备通过不同的组合方式集成为满足不同测试需求的在线检测装置，对纳米镀膜工艺气相沉积反应过程中的输入量、输入组分、输出量和输出组分进行实时检测，通过定量输出装置的设置，对反应物混合气的质量和组分比例进行定量控制，采用椭偏仪、红外检测仪、石英晶体微天平以及质谱仪对纳米薄膜的厚度、质量、组分和反应后气体(或中间产物)的组分进行检测，从而获得纳米薄膜生长量、生长厚度以及反应后气体(或中间产物)的组分与定量输入的反应物混合气质量的关系，为进一步探索纳米镀膜工艺化学反应和物质交换的定量规律提供数据支撑。