简介： 电涡流金属膜厚度终点检测装置,属于集成电路化学机械抛光工艺设备技术领域。该装置包括电涡流传感器、导电滑环、导电定环、多频信号发生单元、前置电路以及含有数据处理与控制程序的计算控制单元。电涡流传感器安装在抛光机的抛光台内且与工件对应的抛光垫下方的一个阶梯孔内,该电涡流传感器包括线圈、壳体和压紧螺母。多频信号发生器为电涡流传感器提供激励信号;因金属膜厚度变化引起的电涡流传感器的电感变化信号经前置电路、导电滑环和导电定环输入到计算控制单元。本发明可克服由振动引起的提离值变化对终点检测的影响,提供准确的终点检测;同时电涡流传感器安装拆卸方便,且可解决因电涡流传感器的安装间隙所引起的抛光液的渗漏问题。