应用于化学机械平面化的垫结构
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应用于化学机械平面化的垫结构
来源:北方有色网
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简介: 本发明涉及一种含固定研磨元件和附垫的磨具。固定研磨元件和附垫共同延伸。附垫含有一个弹性元件。该弹性元件的肖氏A硬度不大于60(ASTM-2240测量)。
本发明涉及一种含固定研磨元件和附垫的磨具。固定研磨元件和附垫共同延伸。附垫含有一个弹性元件。该弹性元件的肖氏A硬度不大于60(ASTM-2240测量)。
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标签:化学分析
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