简介： 本发明涉及一种使用传感器元件的方法，所述方法包括：使传感器元件暴露于未知的被分析物蒸气；测量所述传感器元件的电容以获得测量电容；获得所述传感器元件的真实电容；使半反射性导电电极暴露于入射光并观察反射光，以便测量所述入射光与所述反射光之间的光谱变化；将所述真实电容与测量的光谱变化或其至少一个导数与参考文库比较，所述参考文库包括多种参考被分析物蒸气的光谱变化与真实电容或其至少一个导数之间的参考相关性；以及确定所述被分析物蒸气的化学类别或种类中的至少一者。