简介： 本发明属于光学传感器技术领域，具体为一种用于气体分子、生物分子检测的法布里帕罗微腔传感芯片及其制备方法和检测系统。本发明传感芯片包括制备有微泡的毛细石英管以及微泡表面镀覆的高反射率薄膜；微泡为中空结构；微泡表面的反射膜及微泡液芯区域形成法布里帕罗微腔。本发明基于微泡的透镜效应，克服了传统法布里帕罗谐振腔对平面反射镜之间高平行度的要求，减小了腔内谐振模式的体积，增加了腔内的光能量密度，使光与物质之间的相互作用增强；结合气体分子、生物分子对特定波段的光吸收特性以及比尔朗伯定律，实现对于超低浓度化学气体分子或生物分子的高灵敏度以及微量、痕量分析物检测。传感芯片结构简单，制备方便，且重复利用率高。