简介： 本发明涉及分析化学技术领域，且公开了盐酸和三氯化铁系ITO蚀刻液组成的检测方法，包括以下步骤：S1、盐酸含量测定：S11、以有弱碱为介质，无水短链醇为溶剂，配制浓度为0.5‑1.0mol/L的有机碱‑醇溶液为滴定剂；S12、将滴定剂配制完成后震荡混匀20min，静置12h后再震荡充分混匀；本发明对盐酸和三氯化铁系ITO蚀刻液中两种主组分分别定量，主组分中的盐酸和三氯化铁检测分别采用非水溶剂的动态DET‑U滴定方法及电感耦合等离子发射光谱(ICP‑OES)方法进行定量，能够精确地测量出ITO蚀刻液中盐酸的含量，可以满足ITO蚀刻液在线实时取样的滴定分析，检测速度快，一步完成，无前处理，能实时反馈盐酸浓度，能够满足在线检测和控制要求。