基于机器视觉的太阳能硅晶片颜色自动检测方法
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基于机器视觉的太阳能硅晶片颜色自动检测方法
来源:北方有色网
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简介: 本发明涉及机器视觉检测领域,公开了一种通过机器视觉技术对太阳能硅晶片表面颜色缺陷进行检测的方法和装置,所检测的对象是硅晶片在经过等离子体增强化学气相沉积该道工序后其表面颜色的分布信息。其分类方案是,采用图像滤波技术、彩色图像分割技术、彩色图像HSI空间分析技术等对采集的图像进行处理分析;提取图像的特征信息;所得信息经过基于支持向量机与改进的引力搜索算法相结合的模式识别方法训练和测试后,将硅晶片表面质量分为良好硅晶片和缺陷硅晶片两类;将分类结果传送至执行机构,控制单轴机器人取出缺陷硅片。该方法及装置机构简单,易于维护和操作,满足检测要求。
本发明涉及机器视觉检测领域,公开了一种通过机器视觉技术对太阳能硅晶片表面颜色缺陷进行检测的方法和装置,所检测的对象是硅晶片在经过等离子体增强化学气相沉积该道工序后其表面颜色的分布信息。其分类方案是,采用图像滤波技术、彩色图像分割技术、彩色图像HSI空间分析技术等对采集的图像进行处理分析;提取图像的特征信息;所得信息经过基于支持向量机与改进的引力搜索算法相结合的模式识别方法训练和测试后,将硅晶片表面质量分为良好硅晶片和缺陷硅晶片两类;将分类结果传送至执行机构,控制单轴机器人取出缺陷硅片。该方法及装置机构简单,易于维护和操作,满足检测要求。
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标签:化学分析
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