简介： 一种在真空室外加热和测温并可调节高度的化学辅助离子束刻蚀系统样品台。它是在台面下面接上波纹管和支撑杆,波纹管另一端通过圆环柱接在法兰上,法兰通过管壁与真空室底端法兰相连,使加热和测温部分与真空室隔离,便于在大气中进行操作,支撑杆通过一固定件伸出来,下端有螺纹,旋上螺母可调节台面高度。