简介： 本发明公开一种氮氧电化学气体传感器芯片，其整体为片状包括第一氧化锆固体电解质层、第二氧化锆固体电解质层、第三氧化锆固体电解质层、第四氧化锆固体电解质层、第五氧化锆固体电解质层、第六氧化锆固体电解质层、扩散障一、第一外电极、第一内电极、第一测试腔、第二测试腔、扩散障二、第二内电极、第三内电极、第二外电极、填充有多孔陶瓷一的空气参比腔以及加热电极。本发明解决了普通氮氧传感器陶瓷芯片大多有四个通孔，三个扩散障，结构非常复杂，生产加工难度大，不良率高，实际使用时通孔过多的部位易发生应力集中，而使芯片开裂的问题，节约了成本。