简介： 本发明公开了一种用于动态观察碲锌镉材料化学腐蚀坑的装置与方法，装置由样品腐蚀单元、自动进液单元、废液回收单元和观察测控单元组成。将样品固定在可进行光学观察的腐蚀槽中，通过自动进液单元实现一种或多种腐蚀液和清洗液的自动注入、动态更新和顺序切换，过程中产生的废液由废液回收单元即时回收，观察测控单元集成了显微镜、CCD相机、测控软件以及存储设备，对材料腐蚀的微观过程进行实时观察、采集、显示和存储。本发明能够实时观察记录材料腐蚀坑从产生到消失的动态过程，能够在固定显微视场下原位完成多步腐蚀清洗工艺，能够实现腐蚀过程中腐蚀液的动态更新，有效提高了工艺的可控性、连续性和稳定性，同时改善了腐蚀效果。