简介： 本发明涉及一种基于空心AFM悬臂梁探针的电化学3D打印装置及方法，属于3D打印与局部电沉积技术领域。微调机构固定在底座上，USB光学显微镜安装在微调机构上，固定装置与微调机构固定连接，半透半返镜套接在喷头装置上，喷头装置、半导体激光器和位置灵敏探测器安装在固定装置上，组合式高速扫描器与微调机构固定连接，打印室固定在组合式高速扫描器上。优点是将空心AFM悬臂梁探针与电化学沉积技术相结合，开发了微纳米尺寸金属结构3D打印的新方法，使用空心AFM悬臂梁探针实现微观操纵，极大地提高了打印精度、打印速率和零件性能，可实现复杂三维结构的制造，采用组合式高速扫描器取可实现xyz方向的高速移动，提高打印精度。