简介： 本发明涉及一种加热器表面的修复方法及化学气相沉积设备。所述修复方法包括：监测在加热器表面形成的沉积体层；获取所述沉积体层的厚度分布；当所述厚度分布为不均匀分布时，则基于所述厚度分布，向所述加热器表面喷射修复粉末，直至所述厚度分布为均匀分布。根据本发明的加热器表面的修复方法，能够提高化学气相沉积设备中加热器的使用寿命。